职位描述
岗位职责
• 负责微透镜/超透镜的黄光间工艺开发与调试;
• 负责纳米压印(紫外/热压)工艺的方案设计与全流程落地;
• 负责光刻工艺(涂胶、曝光、显影、烘烤)的开发与优化;
• 负责湿法工艺的开发与参数优化,精确控制工艺窗口;
• 开展DOE实验设计,针对压印压力/温度/时间、胶厚均匀性、套刻精度等开展系统性验证;
• 使用SEM、AFM、白光干涉仪等表征手段定位缺陷,推动良率提升;
• 编写工艺SOP,建立工艺参数台账与异常处理知识库;
• 配合刻蚀、镀膜等上下游工序完成工艺适配与全流程兼容。
▎ 任职要求
• 本科及以上学历,微电子、材料物理、光学工程、微纳加工等相关专业;
• 3年以上半导体或光学微纳加工领域相关工作经验;
• 精通纳米压印(紫外/热压)、光刻、热回流工艺的原理与实操;
• 熟悉黄光制程(涂胶、曝光、显影、刻蚀)全流程;
• 熟练使用SEM、AFM、白光干涉仪等表征设备;
• 具备微纳光学理论基础,有硅基透镜、衍射光学元件加工经验者优先;